石灰纯碱软化过滤+双膜处理+蒸发结晶”为核心的处理工艺，处理江苏省无锡市某半导体元器件精密清洗废水，处理废水水量为150t/d，主要污染物为溶解性总固体、硬度、电导率和氟化物。经废水处理后出水水质执行《生活饮用水卫生标准》（GB 5749-2006）要求，出水全部回用至车间，实现废水零排放处理。